便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称一种硅微机械石墨烯梁谐振式陀螺仪
申请日2017-05-10
申请号/专利号CN201710324290.9
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人樊尚春;卢阳;邢维巍
公告日2019-12-17
公告号CN107101629B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种硅微机械石墨烯梁谐振式陀螺仪,包括玻璃衬底、传递梁、杠杆传递部分、固定质量块驱动梳齿、陀螺质量块、第一石墨烯谐振梁、第二石墨烯谐振梁和边框。采用石墨烯谐振梁作为二次敏感结构,用于间接敏感作用在传递梁上轴向应力的变化。采用石墨烯谐振梁作为谐振敏感结构,处于轴对称位置的石墨烯谐振梁在感受轴向哥氏力变化的过程中,一个处于轴向拉伸状态,另一个处于轴向压缩状态(处于谐振频率范围内),且两个石墨烯谐振梁对温度场等敏感能力相同。通过两个对称石墨烯谐振梁与硅微机械陀螺仪的紧密结合可以充分发挥出石墨烯谐振梁体积小、结构灵活、断裂强度大以及机械品质因数高的特点,实现了硅微机械石墨烯梁谐振式陀螺仪的差动测量、高灵敏度及高测量精度。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层