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专利名称U型精密直线压电驱动器及其激励方法
申请日2017-04-14
申请号/专利号CN201710245066.0
专利权人哈尔滨工业大学
申请人哈尔滨工业大学
发明人/设计人刘英想;田鑫琦;石胜君;陈维山;冯培连
公告日2018-11-02
公告号CN107070295B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

U型精密直线压电驱动器及其激励方法,属于压电精密驱动技术领域,为了满足微电子制造、纳米制造、航空航天等技术领域对精密驱动提出的大行程、高速、强载、高精度性能的需求。本发明的两个水平布置的换能器相互平行,两个竖直布置的换能器相互对称,竖直布置的换能器的轴线与水平布置的换能器的轴线空间正交;换能器包含外壳、压电叠堆、预紧块、定位销、端盖、输出轴,这种换能器能有效减小载荷直接作用在压电叠堆上的弯矩,起到增大直线动子输出力的作用。本发明能够实现大范围、高速运动的同时兼顾极高的定位精度;具有定位精度高、行程大、输出速度和输出力可调、输出力大等优势。
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