本发明公开了纳米颗粒的制备方法及装置，属于纳米材料制备领域。本专利的方法是首先在一个冷凝环境中对于待加工的工件在局部极微小区域位置将材料进行熔化或者气化，使得熔化或气化的产物迅速冷凝，形成松散的微米或纳米颗粒，形成蚀除产物（例如电火花放电加工），再将蚀除产物送入高能球磨进行处理，通过局部极微小区域的熔化或气化产生的材料在迅速冷凝后形成的材料具有极为疏松的结构，特别适合于球磨，利用这样的处理方式一方面可以将需要加工材料快速形成微纳米颗粒，另一方面，保证了微球具有的松散结构，使球磨加工的速度得到了明显提高。这种加工方式可以方便地从特定体材料中获得松散化的微纳米颗粒，极大加快了球磨速度。