本发明提供了一种用于垂直爬行机器人的真空吸盘式行走装置，其包括基架；第一行走机构，其包括对称设置的两第一行走组件，每个第一行走组件包括第一直线滑轨、第一吸盘部件和第一驱动部件；第二行走机构，其包括对称设置的两第二行走组件，两第二行走组件分别位于第一行走机构的相对两侧，第二行走组件包括第二直线滑轨、第二吸盘部件和第二驱动部件。本发明提供了一种用于垂直爬行机器人的真空吸盘式行走装置，通过两组真空吸盘行走机构交替动作，实现机器人的稳定爬行，防止机器人从垂直面上掉落。