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专利名称一种基于全反射的显微物镜数值孔径测量方法及系统
申请日2017-03-16
申请号/专利号CN201710156194.8
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人张蓓;刘雨;张承乾;闫鹏
公告日2019-04-30
公告号CN106802232B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种基于全反射的显微物镜数值孔径测量方法及系统,涉及光学领域,尤其涉及测量液浸及固浸显微物镜数值孔径。它为了解决目前测量液浸及固浸显微物镜数值孔径操作繁琐,测量准确度不够高等问题。所述方法包括:光束从液浸或固浸显微物镜入射后聚焦在标准样片上,反射光在后焦面上形成带有全反射吸收弧的图谱,全反射吸收弧为圆形。通过计算图谱上全反射吸收弧的位置及半径,可测量出液浸或固浸显微物镜的数值孔径。所述装置使用照明光源发出光束,通过液浸或固浸显微物镜聚焦在标准样片上,反射光经过显微物镜出射,在探测器上成像,获得后焦面的像。本发明通过图像探测和识别,能够实现液浸或固浸显微物镜数值孔径的高精度测量。
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