一种研磨抛光加工状态在线监测装置，其特征是它包括环抛机上由一台电机驱动的研磨抛光盘（1）和由另一台电机驱动保持环（4）转动，在研磨抛光盘（1）上安装有研磨抛光垫（3），保持环（4）中安装有晶圆承载器（2），工件（5）安装在晶圆承载器（2）的下部并在保持环的带动下与垫光垫（3）作相对的研磨抛光加工，在晶圆承载器（2）上安装有传感器（6），传感器（6）与固定安装在平台（10）上的信号调理电路（7）电气相连，信号调理电路（7）与固定安装在平台（10）上的数据采集器（8）电气连接，数据采集器（8）通过导电滑环（9）与计算机相连；所述的平台安装在保持环（4）上并同步转动。本发明对设备要求低，成本低，方便操作。