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专利名称一种p-GaN/i-GaN/n-BN中子探测器
申请日2017-02-22
申请号/专利号CN201710095586.8
专利权人东华理工大学
申请人东华理工大学
发明人/设计人朱志甫;汤彬;邹继军;彭新村
公告日2018-08-28
公告号CN106684177B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开一种p‑GaN/i‑GaN/n‑BN中子探测器,该中子探测器由Al2O3衬底层、n‑BN层、i‑GaN层、p‑GaN层组成。其制备方法如下:在一定厚度的Al2O3衬底上,利用金属有机物化学气相沉积技术先生长n‑BN,而后生长未掺杂的i‑GaN,最后生长p‑GaN,再用感应耦合等离子体刻蚀出n‑BN,最后用电子束蒸发在n‑BN和p‑GaN层分别蒸镀欧姆接触金属电极,完成中子探测器的制作。本发明制备工艺简单、无需单独制备中子转换层,能量分辨率高、探测效率高且结构简单,在航空航天探索、核能利用与开发、放射性同位素的产生应用以及一些特殊领域有重要的应用价值。
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