本发明涉及一种MMC功率器件开路故障诊断方法，属于大功率变换器可靠性技术领域。该诊断方法包含故障检测和故障定位两步：故障检测采用基于增量预测模型的方法检测子模块功率器件开路故障是否发生；故障发生后，故障定位采用基于子模块电容电压斜率比较的方法定位故障子模块位置。该方法可以克服干扰、采样误差和模型参数不准确对诊断结果的影响，在不调整阈值的情况下，各种负载条件下均可在4ms准确快速的检测并定位多个子模块故障，故障后子模块电容电压不升高。