本发明提供一种基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其包括以下步骤：S1、利用FRAM对工艺规程进行建模：确定工艺规程的活动子模块，对活动子模块进行变异以及变异的耦合分析，根据分析结果进行建模；S2、建立基于FRAM的工艺规程风险评价方法：识别工艺过程中潜藏的导致不期望事件发生的路径(工艺活动变异耦合方式)以及路径中的关键活动，进而识别工艺规程中的存在的相关缺陷；S3、基于消除发生路径的目的，从路径中关键活动变异抑制或消除的角度提出工艺规程改进方案，并进行有效性验证。本发明能够对工艺规程进行建模，基于模型进行风险评价，并根据评价结果得到工艺规程改进方案。对工艺规程进行改进。