本发明是一种液压伺服作动器的可靠性评估方法，初步筛选出潜在特征性能参数；确定由性能指标要求表征的最先失效判据；应用AMEsim搭建系统功能模型；借助模型对潜在特征参数进行敏感性分析，得到关键性能参数；通过模型仿真获得各重要部件关键性能参数的阈值；确定各重要部件关键性能参数设计值在生产时的不确定分布；基于QMU理论，计算各重要部件的可靠性置信系数；抽样、仿真并基于QMU理论计算液压伺服作动器的可靠性置信系数。本发明建立了基于QMU的液压伺服作动器的可靠性评估方法。利用本发明，可以得到出厂时液压伺服作动器的可靠性置信系数，可以在设备使用期间持续进行，持续有效的对设备可靠性进行评估。