本发明公开了一种半柔性阀压电泵及其工作方法，包括由泵盖和泵底组成泵体、压电振子、阀座、半柔性阀、进水管和出水管；泵盖上设有进水口、出水口和沉孔，进水管与进水口连接，出水管与出水口连接，压电振子固定安装在沉孔内；泵底上设有泵腔、阀座安装槽、连接管，泵腔与沉孔相对应；阀座上设有卡槽，半柔性阀固定安装在卡槽内；泵盖与泵底之间密封连接，第一连接管的一端与泵腔连接，另一端与进水口连接，第二连接管的一端与泵腔连接，另一端与出水口连接，在第一连接管和第二连接管两侧对称安装半柔性阀。本发明结构简单，成本低，可以有效的实现有阀压电泵和无阀压电泵功能。