本发明公开了一种基于柔性铰链的五自由度精密对准机构，其包括有支撑组件(1)、检测组件(2)、两二自由度XY平台(3)、Z轴直线导向平台(4)、X轴转动平台(5)、Z轴转动平台(6)和安装面板(7)。两二自由度XY平台(3)上设计两组Scott‑Russell机构和杠杆机构组合的放大机构，用来增大XY平台两个方向上的输出位移。Z轴直线导向平台(4)上设计两组平行四边形机构以增大直线平台的输出导向性能，减少寄生误差，提高运动精度。X轴转动平台(5)考虑到绕X方向的偏转运动的转动中心需要落在被测件的中心，因此，该运动的转动中心为具备远程转动特性。对Z轴转动平台(6)采用蝴蝶铰的构型，能够获得更大的输出角度和更稳定的转动输出，减少了运动误差。