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专利名称一种Z型梁结构的微惯性开关
申请日2016-11-18
申请号/专利号CN201621235027.X
专利权人中国工程物理研究院电子工程研究所
申请人中国工程物理研究院电子工程研究所
发明人/设计人张凤田;熊壮;王超;康鑫;唐彬
公告日2017-05-24
公告号CN206194639U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型提供了一种Z型梁结构的微惯性开关,所述微惯性开关是采用了MEMS技术加工的低g值微惯性开关芯片,主要由玻璃盖板、质量块‑弹簧梁硅结构、玻璃基底等几部分组成,弹簧梁结构为对称的Z型梁。在工作时,当敏感方向有过载作用时,Z型梁发生弹性变形,质量块向玻璃基底凹槽内的接触凸点运动,当过载达到一定阈值的时候,质量块上的金属电极与基底凹槽内任意相邻的两个接触凸点发生接触,微惯性开关导通。本实用新型的Z型梁结构的微惯性开关具有抗横向过载能力强、可生产性好、可靠性高等优点,适用于汽车与工业生产安全控制和航空航天等领域。
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