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专利名称一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构
申请日2016-10-21
申请号/专利号CN201610918609.6
专利权人中北大学
申请人中北大学
发明人/设计人刘俊;寇志伟;曹慧亮;石云波;连树仁;冯恒振;唐军
公告日2019-03-05
公告号CN106289214B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及MEMS振动陀螺,具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题。一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁;其中,圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔,且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合;轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个,且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列;每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、S形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域。
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