本发明涉及一种空间电荷密度测量仪器的校准装置，包括设置在绝缘圆柱壳内彼此相对放置并留有距离的光电阴极板和屏蔽/校准电极板，通过可调直流源提供电压，形成匀强电场；在所述屏蔽/校准电极板正对的所述绝缘圆柱壳处开有石英窗，所述石英窗可使紫外光源的紫外光射入；所述可调直流源同时给所述光电阴极板和位于所述绝缘圆柱壳下方的收集电极供电，通过检流计检测电流形成闭合电路；所述绝缘圆柱壳的顶端设有风扇，底端连接待校准的电荷密度测量仪器，通过对已知的电荷密度和待校准的电荷密度测量仪器的比较，对待校准的电荷密度测量仪器进行标定。本发明的校准装置结构简单、性能稳定、造价低，可进行多种空间电荷密度测量仪器的校准。