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专利名称一种12英寸单晶棒取棒运输装置
申请日2018-12-26
申请号/专利号CN201822205934.5
专利权人有研半导体材料有限公司
申请人有研半导体材料有限公司
发明人/设计人盖晶虎;王雅楠;秦瑞锋;杨高潮;戴小林;吴志强
公告日2019-08-30
公告号CN209321000U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型公开了一种12英寸单晶棒取棒运输装置。该装置包括取棒架、旋转装置、运输平台及控制系统,其中,取棒架和旋转装置设置在运输平台上,取棒架具有用于承载单晶棒等径部分的截面为半圆形的半圆管,在该半圆管下端的设有圆锥型的棒尾固定部,半圆管与棒尾固定部之间通过可拆卸的卡扣无缝连接;在该半圆管的开口部分设有多个用于固定单晶棒的锁扣;旋转装置与半圆管外壁连接,控制系统控制旋转装置,使半圆管在竖直位置和水平位置之间旋转。通过使用该12英寸单晶棒取棒运输装置,操作人员能够独立快速安全地将生长完好的单晶棒从单晶炉里面取出,该取棒运输装置不会对单晶棒某段内部造成应力过大的内伤;操作人员能够高效安全的转移单晶棒。
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