一种超硬脆工件研磨抛光新方法，其特征是它主要包括（1）金刚石磨料聚集体制备；（2）压制成形；（3）配制研磨抛光液对工件进行研磨抛光；研磨抛光液中添加的化学活性成分为酸碱调节剂或活性离子；研磨液中添加适量的小颗粒辅助磨料，使研磨抛光垫均匀磨损，保证稳定的材料去除速率。本发明提供的方法具有制备简单、工艺路线短、成品率高、成本低、加工性能稳定等优点。