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专利名称双轴平动自传感超分辨率成像平台及方法
申请日2019-04-17
申请号/专利号CN201910308901.X
专利权人西安交通大学
申请人西安交通大学
发明人/设计人廖诚;徐明龙;肖瑞江;胡方泽;嵇辉
公告日2019-08-09
公告号CN110104227A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种双轴平动自传感超分辨率成像平台及方法,该双轴平动台包括最上部的通光顶盖、四个驱动压电堆、平动自传感部件及带支撑解耦单元的底座;X轴和Y轴位移传感测量单元均包括位于四边形平台四角的刚性支撑镜像于四边形平台对角线呈45°的一对柔性金属梁及其末端固定连接的平台位移输出单元;每根柔性金属梁的根部附近上下表面均贴有电阻应变片;四组两级放大压电驱动输入单元垂直交叉分布,与X轴和Y轴位移输出单元呈“米”字形排布位于四边形平台两对角线上;本发明具有输入输出单元分离,机构通过构建悬臂梁结构,实现机构自传感功能;输入端位移两级放大,且驱动单元沿对角线交叉排布使沿双主轴向有效行程增大;由于“米”字形排布,平台结构也更紧凑。
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