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专利名称碳化硅烧结托盘用夹取固定装置
申请日2019-11-18
申请号/专利号CN201921996449.2
专利权人四川矽芯微科技有限公司
申请人四川矽芯微科技有限公司
发明人/设计人李勇刚;胥小丰;卢红亮
公告日2020-02-07
公告号CN210036291U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本申请公开了一种碳化硅烧结托盘用夹取固定装置,操作板的下端安装有支撑架,操作板上设有第一直线导轨,第一直线导轨上设有第一滑板和第二滑板,操作板的下端安装有驱动第一滑板和第二滑板在第一直线导轨上滑动的第一电机,第一滑板和第二滑板相对的一侧均设有第二直线导轨,第二直线导轨上均设有第一限位板和第二限位板,第一滑板上设有驱动第一限位板和第二限位板在第二直线导轨上运动的第二电机,第二滑板靠近第一滑板的一侧安装有第一安装板,第一安装板上设有保温箱,保温箱内设有电池,保温箱内设有保温腔,保温腔内壁设有导热层,导热层内设有与电池电连接的电阻丝。本实用新型能够保证碳化硅夹取移动保温效果,提高碳化硅的加工质量。
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