本发明一种基于SERF原子器件的磁场补偿惯性角速率的高精度测量方法，首先制作充有正压气体的内含碱金属的玻璃气室以及真空气室；加热烤箱，使碱金属气室温度达到SERF态所需要的温度；开始操作周期：对碱金属气室进行抽运；中断抽运，在垂直抽运方向作用90°射频脉冲；中断射频，在垂直抽运方向间隔进行两次探测光脉冲检测，由以上测得的实验数据可得到磁场强度；然后使用圆偏振光抽运一段时间后在垂直抽运方向进行探测光检测，由该步实验结果和测得的磁场强度进行补偿可得到高精度惯性角速率，结束抽运和检测。本发明的磁场测量和惯性测量是在同一实验设备和条件下进行，并利用测得的磁场补偿了由于干扰磁场引起的惯性角速率误差，提高了测量精度。