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专利名称一种智能化低波动恒温恒湿房的工作方法
申请日2019-11-11
申请号/专利号CN201911097128.3
专利权人苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
申请人苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
发明人/设计人范希营
公告日2020-02-11
公告号CN110778156A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明属于智能制造领域,具体涉及一种智能化低波动恒温恒湿房的工作方法,包括:控制模块,分别与控制模块相应输入端相连的第一、第二温湿度传感器,分别与控制模块相应输出端相连的鼓风机、温湿度调节单元;其中第一温湿度传感器位于恒温恒湿房内,以检测恒温恒湿房内的温湿度;第二温湿度传感器位于微型调节室内,以检测微型调节室内的温湿气流的温湿度;所述控制模块适于控制温湿度调节单元工作,以使微型调节室内的温湿度检测值符合相应的设定阈值;以及所述控制模块适于控制鼓风机工作,将微型调节室内的温湿气流通入恒温恒湿房内,以使恒温恒湿房内的温湿度检测值符合相应的设定阈值。
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