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| 专利名称 | 基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法 |
| 申请日 | 2016-06-12 |
| 申请号/专利号 | CN201610406156.9 |
| 专利权人 | 南京航空航天大学 |
| 申请人 | 南京航空航天大学 |
| 发明人/设计人 | 侯志保;曲宁松;陈晓磊 |
| 公告日 | 2017-12-26 |
| 公告号 | CN106064261B |
| 法律状态 | 有效 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
摘要
本发明涉及一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法，属微细电解加工领域。包括：阴极工具（1）、PDMS掩模、阳极工件（3）、夹具（5）、电解液（6）、电源（7）；其特征在于：PDMS掩模为磁性PDMS掩模（2），在阳极工件（3）下方还布置有用于吸引所述磁性PDMS掩模（2），使其紧贴于所述阳极工件（3）表面的永磁体（4）。采用本发明进行电解加工，磁性PDMS掩模在磁场下可以紧密贴合在阳极工件表面，提高电解加工微坑阵列的定域性。
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