本发明涉及大面积微坑阵列高精度电解加工的系统及方法，属微细电解加工领域。该方法包括：制作阴极工具和夹具，在阴极工具下表面处设置出液口，进液口与出液口总截面积比为50‑200；柔性模板贴在阳极工件上，装夹阴极工具和阳极工件，阴极工具和柔性模板的距离为10‑50mm；阳极工件和阴极工具分别连接电源正负极，通入电解液后接通电源，进行电解加工。采用本方法进行电解加工，利用电解液的压力和重力，柔性模板紧密贴合在工件表面；同时微坑内的电解产物缓慢流离加工区域，降低加工间隙内的电导率，加工尺寸对电参数的敏感性降低，抑制了电场边缘效应对大面积微坑阵列加工尺寸的影响。该方法可有效提高大面积微坑阵列的加工精度。