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专利名称斜梯形运动转换式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法
申请日2016-06-06
申请号/专利号CN201610386960.5
专利权人长春工业大学
申请人长春工业大学
发明人/设计人程廷海;何猛;张邦成;柳虹亮;殷梦飞;何璞
公告日2017-12-15
公告号CN105827141B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种斜梯形运动转换式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法,以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由基座、预压力调整装置、斜梯形定子和动子四部分组成,所述定子利用对称的柔性铰链结构来产生位移放大,利用斜梯形驱动足轴向刚度分布不均来产生侧向位移,增大摩擦驱动力,减小摩擦阻力;同时将摩擦调控波复合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中,从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力,实现对摩擦力的综合调控,显著提升直线压电马达机械输出特性。本发明具有结构简单、精度高、行程大等特点,在航空航天、光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。
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