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专利名称一种适用于光纤铌酸锂晶片研磨的卡具
申请日2016-05-27
申请号/专利号CN201610365788.5
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人李慧鹏;朱伟伟;谭朦曦;郑晓;宋凝芳;吕亚宁
公告日2018-02-06
公告号CN106002609B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种适用于光纤铌酸锂晶片研磨的卡具,由铌酸锂晶片夹具和夹具座、压板以及锁紧螺钉组成,通过锁紧螺钉可以调节夹具座与夹具之间的相对位置,改变夹具座与夹具之间的作用力,从而改变夹具对光纤铌酸锂晶片的预紧力。此外,夹具的铌酸锂晶片夹持处的尺寸大于夹具座容许的最大尺寸,在铌酸锂晶片与研磨盘接触时,研磨盘对铌酸锂晶片有作用力,则夹具与夹具座发生相对位移,夹具和夹具座的尺寸差使夹具通过自身的柔性铰链结构发生形变,从而改变夹具作用在铌酸锂晶片上的夹紧力。研磨夹具包围了光纤铌酸锂晶片的四个面,通过其中相对的两个面施加力,使铌酸锂晶片在研磨的过程中姿态更加稳定,更利于其他研磨参数的控制。
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