本实用新型公开了一种超声刻蚀装置，包括兰杰文振子、振动传递杆、探针和基板；振动传递杆的一端设置在兰杰文振子的辐射面上，另一端连接有探针；探针的下方设置有基板；探针的端部垂直于基板的平面，且与基板临界接触。该装置通过兰杰文振子对振动传递杆和探针进行励振，利用做超声振动的探针的端部产生的冲击力对基板表面的纳米材料膜进行剥离，实现对纳米材料膜的刻蚀。本实用新型可实现对样品的微纳切割、雕刻、倒角、镂铣和修边等微纳刻蚀加工，无需刻蚀液和掩模工具。本实用新型涉及到的超声刻蚀装置具有结构简单、操作方便、工序简单、低成本、高效率、绿色环保等优点。