本发明针对传统抛光垫在抛光过程中效率低、成本高、均匀性和可靠性差以及多次装夹工件致使工件的加工定位基准发生改变，从而影响加工精度和效率等缺点，提出一种研抛一体化冰粒型固结磨料抛光垫及其制备方法，以适应目前抛光精度和效率的需求。本发明以液体作为粘结剂，通过液氮快速冷凝与压力机压实分层将含不同粒度磨料的冰粒粘结成抛光垫，可用于抛光加工各种薄型工件，尤其适用于加工热敏材料、软材料、晶体材料等。具有制造简单、加工成本低、加工效率高、工艺控制能力强、绿色环保等优点。