本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种隔离阀及离子注入机台，该隔离阀包括一阀盘，阀盘的第一面的边缘具有倒角；阀盘与第一面相背的第二面的边缘设有一保护垫圈，或者在阀盘的第二面的边缘也设置倒角。本发明通过在阀盘的第一面的边缘设置倒角，在阀盘的第二面的边缘设置保护垫圈或倒角，使隔离阀在长时间的使用过程中，可以防止阀盘与护套内壁摩擦产生杂质，从而影响晶圆的品质。