本发明提供一种基于法拉第笼法的空间电荷密度测量装置，包括法拉第笼笼体、电位探针、信号传输屏蔽线、信号传输屏蔽管、电位测量模块和底座；电位探针位于法拉第笼笼体的中心，信号传输屏蔽线位于信号传输屏蔽管内部，信号传输屏蔽管支撑于法拉第笼笼体底部与电位探针之间，电位测量模块置于法拉第笼笼体下方且与底座相连。本发明采用感应型电位探针测量空间电位，测量精度高；通过法拉第笼笼体屏蔽外界电场的影响，获取笼体中的空间电位，进而得到空间电荷密度，本发明具有良好的稳定性，能较好的用于复杂多变的环境。