本发明提供一种基于探针阵列的空间电荷密度测量装置，所述测量装置包括传感单元、处理单元和底座；所述处理单元置于传感单元下方且与底座相连。所述传感单元采用探针阵列，所述探针阵列包括阵列框架和电位探针；本发明提供一种基于探针阵列的空间电荷密度测量装置，基于探针阵列，获取空间电位，采用高斯定理计算出该空间的电荷密度，电位探针采用感应型或振动型，提高测量精度和装置的稳定性，能较好的用于复杂多变的环境。