本发明提供一种空间电荷密度测量设备的校准装置，所述校准装置包括电源、上极板、下极板、绝缘支撑柱、弧光灯、检流计、平台和风扇；电源的正极和负极通过导线分别连接下极板和上极板，上极板和下极板通过绝缘支撑柱支撑，检流计设置在电源的负极与上极板之间的导线上；弧光灯放置在下极板的边缘，风扇位于弧光灯上方，上极板和下极板之间放置空间电荷密度测量设备的平台。本发明具有原理清晰、结构简单、造价低、使用安全方便、标定范围宽，且适用于不同种类空间电荷密度测量设备标定的特点；主要用于基于离子计数法、法拉第笼法、电荷筛选法、探针阵列法空间电荷密度测量设备的校准。