本发明公开了一种超细高硅氧玻璃纤维棉的制备方法，由无碱玻璃纤维棉、二元玻璃纤维棉或三元玻璃纤维棉制备而成；其中，无碱玻璃纤维棉、二元玻璃纤维棉或三元玻璃纤维棉的直径均小于4.0um，纤维长度均小于400mm；所得超细高硅氧玻璃纤维棉的氧化硅含量高于91％。本发明所制备的高硅氧玻璃纤维超细棉，氧化硅含量91％以上，软化点高、导热系数低、柔软性好易成形，较好地保留了纤维的原始长径比；本方法制备的高硅氧棉经过后加工可以制成高硅氧棉毡、保温隔热纸等制品，产品柔软性、敷贴性、反复使用性良好，能满足航空航天高端领域对保温材料的严苛性要求。