本发明涉及一种单晶硅小尺寸试件高温蠕变性能四点弯测试系统及方法，包括：载荷控制系统、原位试验机、四点弯上夹具、四点弯下夹具、蠕变试验件、温度控制系统、加热台、冷却水系统、SEM观测系统。本发明通过设计专用四点弯夹具和蠕变试验件，有效降低试件压杆处表面应力，避免发生局部屈服，保证试件蠕变变形过程中满足理想梁理论假设。同时，本发明测试系统具有高温加热装置，能实现小尺寸单晶硅试件在不同高温下蠕变性能数据的获取。