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专利名称磁控溅射镀铝+加弧辉光渗铬+反冲离子注入制备Fe‑Al‑Cr合金层
申请日2015-08-05
申请号/专利号CN201510475459.1
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人姚正军;罗西希;张平则;周克印;张泽磊;陶学伟;李中;杜文博;方超
公告日2017-05-31
公告号CN105039978B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明属于金属表面改性领域,具体涉及采用磁控溅射镀Al、加弧辉光渗Cr和反冲离子注入相结合,制备合金元素均匀分布的Fe‑Al‑Cr涂层,具体步骤如下:步骤1:首先对不锈钢表面进行表面预处理,经超声清洗后烘干;步骤2:采用磁控溅射技术镀Al;步骤3:采用加弧辉光技术渗Cr;步骤4:采用反冲离子注入技术轰击材料表面的薄膜。本发明能够避免涂层表面沉积层纯Cr的形成以及亚表面附近高Al脆性相的析出,保证Fe、Al、Cr三种合金元素沿截面方向均匀分布,提高涂层的使用寿命,改善其抗高温氧化性和耐摩擦磨损性能。
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