本发明公开了非共振式压电电机驱动的一种三自由度柔性并联精密工作台，由底座、非共振式压电直线电机、导轨、斜台结构、柔性球铰和工作台组成。该平台由三组驱动机构实现驱动，每组驱动机构由双足驱动型压电直线电机驱动导轨及斜台机构，斜台机构通过柔性球铰与动平台相连。通过三组驱动机构相互配合，实现Z轴平动、绕X轴转动、绕Y轴转动三自由度运动。本发明结构简单紧凑，具有高精度、大行程、动态响应快等特点，能够应用于光波导器件连接封装等精密制造领域。