本发明提供了压电式与电容式相结合的MEMS麦克风，包括具有背腔的基座以及设于基座上的电容系统，电容系统包括背板和振膜，背板和振膜相对间隔设置以形成第一声腔，在电容系统与基座之间还设有压电膜片结构，电容系统与压电膜片结构之间形成有第二声腔，第二声腔至少与第一声腔或背腔连通，该压电式与电容式相结合的MEMS麦克风能够输出两组电信号，包括一组由电容系统输出的电信号和一组由压电膜片结构输出的电信号，因此能够提高麦克风的灵敏度。