本发明公开了一种具有GS分层式电极的薄膜材料声表面波器件及其制备方法与应用。它由下至上依次包括基片、第一层叉指换能器、二氧化硅薄膜、压电薄膜和第二层叉指换能器。其制备方法包括如下步骤：1)利用光刻技术和电子束蒸镀方法，在基片表面制备第一层叉指换能器；2)利用磁控溅射方法，在第一层叉指换能器和基片上生长二氧化硅薄膜；3)使二氧化硅薄膜表面平整，然后采用磁控溅射的方法在其表面上生长压电薄膜；4)采用步骤1)中方法在压电薄膜上制备第二层叉指换能器，并将其与第一层叉指换能器按照设置对准，并利用光刻技术露出第一层叉指换能器的电极PAD区，即得。本发明具有更高的频率、较高的温度稳定性，同时具有更强的集成性能。