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专利名称声波器件及其制作方法
申请日2019-11-25
申请号/专利号CN201911164184.4
专利权人开元通信技术(厦门)有限公司
申请人开元通信技术(厦门)有限公司
发明人/设计人彭波华;李平;胡念楚;贾斌
公告日2020-02-14
公告号CN110798167A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种声波器件及其制作方法,声波器件包括:POI结构,包含:高声速层和低声速层交替的材料层,衬底作为最下方的高声速层;以及第一压电层,位于高声速层和低声速层交替的材料层的上方,与所述第一压电层相邻的为表面低声速层;所述高声速层传播的体波声速比所述第一压电层的体波声速高,所述低声速层传播的体波声速比所述第一压电层的体波声速低;POI结构包含至少两个区域,其中两个区域分别为第一区域和第二区域,在第一区域制作有第一振动模式谐振的第一器件;在第二区域制作有第二振动模式谐振的第二器件。能够减少不同区域的器件之间的耦合干扰,提升滤波器或双工器的抑制和隔离度;还能减小器件的尺寸,降低成本,满足通信小型化的要求。
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