本发明公开了一种压电执行器输出位移与输出力的自感知方法，包括用于获得压电执行器晶片表面电荷的积分器，压电执行器输出力的自感知表达式为：压电执行器在外力和电压作用下的输出位移δ的自感知表达式为：其中，Fest、δest、δfee_est、kp、Cp、RP、u、QDA分别为压电执行器的自感知力、自感知位移、自感知空载位移、刚度、电容、绝缘电阻、驱动电压、介电吸收电荷；C、uout分别为积分器的积分电容、输出电压；α为电荷‑力系数；iBIAS为运算放大器的偏置电流。本发明无需给积分器中的反馈电容并联电阻，就能消除压电执行器漏电阻对自感知精度的影响；并且，补偿偿了压电执行器的介电吸收及的偏置电流，能进一步提高压电执行器输出位移与输出力的自感知精度。