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专利名称基于滤波器的石英晶片的制备方法
申请日2019-11-11
申请号/专利号CN201911096628.5
专利权人四川省三台水晶电子有限公司
申请人四川省三台水晶电子有限公司
发明人/设计人王天雄;王显波;周禄雄;饶绍兵
公告日2020-01-24
公告号CN110729981A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了基于滤波器的石英晶片的制备方法,选用Q值≥300万、低腐蚀隧道密度≤30条的石英原晶;石英原晶进行震荡切削,得到∮5.5mm的尺寸;晶片角度选取35°23′±30",加工过程中,晶棒平磨角度控制在±3′以内,晶棒平面误差±0.02mm;切割后进行粗磨、改圆,然后晶片进行细磨;使用∮60mm的小直径筒,对晶片倒边,使晶片阻抗达到40Ω以内;晶片倒边后,使用氟化氢铵溶液恒温腐蚀,确保晶片频率集中,表面无花斑、无水印;对晶片进行角度筛选,确保晶片角度集中。本方法能有效的提高晶体参数一致性,使该系列产品可进行批产批量,并且得到产品性能较好。
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