本发明属于模拟集成电路设计领域，公开了一种逐次逼近型模数转换器的数字自校准装置及方法，数字自校准装置包括校准开关、比较器和逻辑控制单元；数字自校准方法包括采样，选取首位校准电容单元进行电荷重分配，通过逻辑控制电容的下极板接地或者基准电压之间的切换，逐次逼近首位校准电容单元进行电荷重分配带来的电压差，通过比较器的输出进行量化计算，按照量化结果进行校准计算，得到校准结果作为校准权重值，存在寄存器中用于模数转换器征程工作使用，重复进行完成所有高位电容的校准。本方法通过复用计算电路，减少了电路面积，同时保证了模数转换器的高精度量化。