本发明提供一种单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，包括如下步骤：采用晶圆键合转移方法制备单晶压电薄膜材料，所述单晶压电薄膜材料包括自上而下依次设置的表面损伤层、表面粗糙层、频率调控层、压电层，去除所述表面损伤层，去除所述表面粗糙层，调节所述频率调控层的厚度，即可。本发明所述的单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，实现了对单晶压电薄膜结构的厚度以及表面形貌的精准控制，从而使得在提高单晶压电薄膜的结构与压电性能的同时，也实现对单晶薄膜体声波滤波器频率的精确控制，最终实现对薄膜体声波滤波器的中心频率的精准调频。