本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法，该方法包括：提供衬底；在所述衬底的表面形成若干间隔排列的孔；进行热处理，使得若干所述孔合并成至少一个悬空的封闭腔体；在所述衬底上形成具有开口的压电震荡堆层；对暴露于所述开口的衬底进行各向同性刻蚀，当刻蚀至所述封闭腔体后继续对所述封闭腔体周围的衬底进行所述各向同性刻蚀，以在所述衬底的表面形成与所述开口连通的腔体，至少部分所述压电震荡堆层位于所述腔体之上。本发明的技术方案可以在衬底表面获得更大的腔体，以更有利于散热。