本实用新型公开了一种高精度差分电容MEMS接口电路及MEMS器件，该高精度差分电容MEMS接口电路用于将MEMS器件电容转换为电压，其包括：差分电容C1、差分电容C2、反馈电容C3、补偿电容C4、跨导放大器OTA、开关S0、开关S1、开关S2、开关S3和电压输出端。本实用新型的高精度差分电容MEMS接口电路通过在电路中接入开关S3和补偿电容C4，将开关S3和补偿电容C4并联后与跨导放大器OTA的正输入端连接，开关S3可与开关S1同时断开，开关S3可在补偿电容C4上建立补偿电压，用以补偿开关S1断开时在反馈电容C3上建立的误差电压，克服了开关电路引入的误差，提高了检测精度。