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| 专利名称 | 晶体振荡器及其制作方法和设备 |
| 申请日 | 2019-03-28 |
| 申请号/专利号 | CN201980000483.6 |
| 专利权人 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 申请人 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 发明人/设计人 | 王红超;沈健;王文轩;李运宁 |
| 公告日 | 2019-08-09 |
| 公告号 | CN110114971A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
摘要
本申请提供一种晶体振荡器及其制作方法和设备，晶体振荡器包括：硅基衬底(10)和晶体振子(40)，且所述硅基衬底(10)开设有可供所述晶体振子(40)振动的空腔结构(101)，所述晶体振子(40)悬空设置在所述空腔结构(101)的上方，其中，所述晶体振子(40)包括层叠设置的第一激励电极(41)、晶体层(43)和第二激励电极(42)，实现了晶体振荡器小尺寸的目的，提高了晶体振荡器的加工精度，从而解决了现有晶体振荡器的尺寸较大而无法满足移动终端小型化需求的问题。
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