本发明公开了一种复合柔性体声波谐振器，包括由下至上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，所述基底为聚酰亚胺和氮化硼复合的复合柔性薄膜基底。本发明还公开一种复合柔性体声波谐振器的制备方法。本发明的复合柔性材料具有较低的声阻抗，无需传统的空腔结构或布拉格反射层结构，并且相比于单一的柔性基底，复合柔性基底具有高的热导率和低的介电常数。同时本发明提出的复合柔性体声波谐振器能够优化体声波谐振器的工作稳定性，为后续的滤波器、双工器的高功率容量奠定了基础。