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专利名称多功能全自动匹配器
申请日2019-03-17
申请号/专利号CN201910200852.8
专利权人江苏神州半导体科技有限公司
申请人江苏神州半导体科技有限公司
发明人/设计人尹巧星;刘锐;赵加佳
公告日2019-05-10
公告号CN109743037A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明属于匹配器技术领域,尤其是一种多功能全自动匹配器,针对现有的匹配器具有多个缺点,1、无法满足大功率使用环境,2、只有单一的两种工作模式,3、匹配速度慢,进而造成匹配器使用不便的问题,现提出如下方案,其包括控制台,所述控制台电性连接有射频电源、多功能自动匹配器、chamber控制室和其他辅助设备,其他辅助设备电性控制有气和水电,所述其他辅助设备和chamber控制室电性连接,所述射频电源和多功能自动匹配器电性连接,所述多功能自动匹配器和chamber控制室电性连接。本发明满足大功率使用环境,使用方便。
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