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专利名称弹性波装置
申请日2019-03-13
申请号/专利号CN201910192683.8
专利权人株式会社村田制作所
申请人株式会社村田制作所
发明人/设计人林泰伸;山根毅
公告日2019-09-27
公告号CN110289826A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。间隔层(5)直接或间接地形成在支承基板(1)上,在从支承基板(1)的厚度方向(D1)俯视的情况下形成在压电膜(2)的外侧。覆盖层(6)形成在间隔层(5)上。贯通电极(7)贯通间隔层(5)和覆盖层(6),并与布线电极(4)电连接。布线电极(4)具有:第一部分(41),在从厚度方向(D1)的俯视下与贯通电极(7)重叠;第二部分(42),在从厚度方向(D1)的俯视下与压电膜(2)重叠;以及台阶部(431),在第一部分(41)与第二部分(42)之间形成厚度方向(D1)上的台阶。间隔层(5)中的覆盖层(6)侧的端部(52)进入到覆盖层(6)。
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