本发明提供一种空腔型体声波谐振器及其制备方法，其特征在于：包括如下步骤：取经过离子注入并具有底电极的压电单晶晶圆以及具有空腔的衬底，将所述压电单晶晶圆的具有底电极的一侧与所述衬底的具有空腔的一侧键合，键合后对其进行热处理，使所述压电单晶晶圆的薄膜剥离，再在所述压电单晶晶圆的剥离后的一侧生产顶电极，即得。本发明所述的空腔型体声波谐振器的制备方法，不需要生长牺牲层，不对薄膜进行刻蚀开孔，其器件机械强度提高，不易对薄膜产生损伤；空腔结构在成膜前形成，成品率较高，且不会有成膜后刻蚀遗留的残渣，不需要考虑释放不完全对器件造成的影响。