本发明公开了一种MEMS谐振器的温度补偿方法及装置、MEMS振荡器。该温度补偿方法包括：获取温度常数和温度项系数，所述温度常数和所述温度项系数均与所述MEMS谐振器的模型参数关联；获取所述MEMS谐振器的温度；根据所述温度常数、所述温度项系数和所述MEMS谐振器的温度，确定所述MEMS谐振器的温度补偿电压。与现有技术相比，本发明实施例无需设置PLL，因此，本发明实施例可以使MEMS振荡器的运作频率大大降低。若MCU运作在MHz的频率量级，可以将MEMS振荡器的功耗控制在十毫安以下，使得MEMS振荡器在同样的参数表现下，达到更低的功耗与热性能要求，解决了现有的MEMS谐振器的温度补偿方法存在的功耗较大的问题。